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molbloc-S 질량유량요소용
Molstic-S™ 은 molbloc-S® 질량 유량 요소를 장착하는 실질적인 문제들을 해결해주는 엔지니어링 솔루션으 로 가스 공급을 연결해주고, 압력을 조절하고, 테스트 대상 장치를 연결해줍니다. 1/4 인치 molstic-S에 필터가 포함되어 소형 molbloc-S 요소를 오염으로부터 보호합니다. 고급 부품들이 간편하고 간소한 모듈 구성으로 통합되어 최적의 molbloc®/molbox TM의 성능을 보장합니다.
단일 채널 molstic-S는 단일 molbloc-S 요소를 수용합니다. 이중 채널은 동시에 두 개의 molbloc-S를 사용할 수 있도록 해주어, 테스트 도중 하드웨어를 변경할 필요 없이 두 개의 범위를 활용할 수 있습니다. 더불어, 이중 채널 molbox1+ 사용시, 추가적인 유량 범위 용량을 얻기 위해 두 molbloc-S 요소의 배출은 하류 tee 기구 (P/N 401884)를 이용하여 병렬 배관할 수 있습니다.
이러한 모듈형 디자인의 핵심적인 장점은 molstic-S가 테스트와 상류 혹은 하류 위치에서 사용될 수 있도록 해주는 것입니다. 선택사양 조절식 DUT 장착대 (P/N 401934)는 molstic-S에 들어 맞지않는 대형 DUT를 수용합니다.
Molstic-S는 1/2 혹은 1/4 인치 시스템 배관 크기로 제공됩니다. 1/4 인치 크기는 1E2-S 혹은 이하의 molbloc-S 요소 전용이며, 1/4 인치는 2E2-S 에서 2E3-S 요소를 위한 것입니다. 각 molstic-S 플랫폼에는 유량 셧오프/미터링 밸브가 통합되어 있습니다. 이로 인해 시스템 누수 테스트가 가능하며 유량 제어의 툴을 제공합니다 (DUT 형식이 요구하는 경우). 선택 사양 고분해능 미터링 밸브 키트들은 1/4 inch molstic-S에 미세한 유량 제어 기능을 제공합니다.
molstic-S 사용
Molbloc-S는 임계 유량 체제로 운전하기 때문에, 유량 제어 기능이 있는 테스트 장치를 molbloc-S의 상류에 설치하여 유량을 제어해야 합니다.
대기압에서 교정되어야 하는 장치들은 일반적으로 molbloc 하류에 설치됩니다. Molstic-S는 모듈형으로 제작되어 이를 위한 유연함을 제공합니다.
입구 가스 공급 압력 조절은 molbox 압력 트랜스듀서를 보호하기 위해 필수적입니다. 따라서, 대기압에서 교정해야 하는 장치의 교정 시에는 molstic-S 공급 전용 molstic을 유량 제어 기능이 있는 테스트 장치의 상류에 설치하고 molstic-C에 압력 감소 조절기 옵션을 설치하도록 권장 됩니다. 선택사양 역행 압력 조절기를 molstic-S에 설치하여 상류 DUT의 하류 압력을 제어할 수 있습니다.
크기 |
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|
molstic-S |
A |
B |
C |
D |
E |
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molstic-S, 단일, 1/4 in |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
— |
600 mm |
|
molstic-S, 단일, 1/2 in |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
— |
600 mm |
|
molstic-S, 이중, 1/4 in |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
84 mm |
600 mm |
|
molstic-S, 이중, 1/2 in |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
84 mm |
600 mm |
|
이중, 1/4 in 조절기와 tee 포함 |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
84 mm |
750 mm |
|
이중, 1/2 in 조절기와 tee 포함 |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
84 mm |
875 mm |
|
단일, 1/4 in 미터링 밸브 포함 |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
— |
600 mm |
|
이중 1/4 미터링 밸브와 티 포함 |
103.5 mm |
182 mm |
590 mm |
84 mm |
875 mm |
|
공급 전용, 1/4 in |
103.5 mm |
182 mm |
232 mm |
— |
280 mm |
|
공급 전용, 1/2 in |
in 103.5 mm |
182 mm |
232 mm |
— |
471 mm |
설정 사항
- 각 molstic-S와 함께 50 cm (20 in)의 투명 PFA 배관이 제공되어, 테스트 대상 장치와 입구 공급 배관 사이 연결의 유연함을 제공합니다.
- 각 molstic-S 플랫폼에는 유량 셧오프/미터링 밸브가 통합되어 있습니다. 이로 인해 시스템 누수 테스트가 가능하며 유량 제어의 툴을 제공합니다 (DUT 형식이 요구하는 경우).
- 1/4 inch molstic-S 플랫폼은 1E2-S 이하로 지정된molbloc-S 요소와 사용되도록 설계되었습니다. 1/2 인치 Molstic-S 플랫폼은 2E2-S에서 2E3-S 요소와 사용되도록 설계되었습니다. P/N 401935는 고유량 요소의 1/2 인치 molbloc-S 입구 플랜지를 교체하여 1/4 inch molstic-S와 사용될 수 있도록 해줍니다. 이는 2E2-S molbloc-S 요소나, 5E2-S로 LP 교정을 한 것과의 조합만 권장됩니다.
- P/N 401936는 저유량 molbloc의 1/2 인치 molbloc-S 입구 플랜지를 교체하여 1/2 in molstic-S와 사용될 수 있도록 해줍니다. 이는 1E2-S molbloc-S 요소와의 조합만 권장됩니다.
| 액세서리 | 설명 |
|---|---|
| 계측밸브 저유량 molstic |
수동 유량제어를 위해 molbloc의 molstic 하향흐름에 설치 |
| 중/고유량 molstic 계측밸브 |
수동 유량제어를 위해 molbloc의 molstic 하향흐름에 설치 |
| DUT 표준, 조정가능 |
수직을 위한 3 in x 3 in 조정가능 플랫폼 |
| PK-MOL-S-VAC, dwn V ac 연결,중간/낮음 |
진공펌프를 molbloc-S 또는 하향흐름 tee 어셈블리에 연결하기 위한 부속품(P/N 401884) |
| molbloc-S를 위한 tee 어셈블리, 하향흐름 |
A+B를 위한 2개 molbloc-S 요소의 출력 연결 또는 공통 진공연결 |
| VA-MOL-S, V ac 펌프 키트, 낮음 ,표준 |
250slm(최대 5E2-S) 를 위한 진공펌프 키트 |
| VA-MOL-S, V ac 펌프 키트, 중간 PFPE |
1000slm(최대 5E3-S) 를 위한 진공펌프 키트, 특수 cleaning/오일 |
| VA-MOL-S, V ac 펌프 키트, 중간 ,표준 |
1000slm(최대 5E3-S) 를 위한 진공펌프 키트 |
| 계측밸브 키트, molstic-S,1/4인치,중간 |
키트는 최대 100 slm의 계측흐름을 위한 1/4 in molstic-S 예 설치 |
| 계측밸브 키트, molstic-S,1/4인치,낮음 |
키트는 최대 20 slm의 계측흐름을 위한 1/4 in molstic-S 예 설치 |
| molstics-S 를 위한 배압조절기,1/2 in |
업그레이드는 1/2 in molstic-S 에 배압조절기 추가 |
| molstics-S 를 위한 배압조절기,1/10.16 cm |
업그레이드는 1/10.16 cm molstic-S 에 배압조절기 추가 |
| molstics-S 를 위한 배압조절기,1/2 in |
업그레이드는 1/2in molstic-S에 상향흐름 압력조절기 추가 |
| molstics-S 를 위한 배압조절기,1/10.16 cm |
업그레이드는 1/10.16 cm molstic-S에 상향흐름 압력조절기 추가 |
| 배압조절기,1/2in. |
상향흐름 압력의 조절을 위해 1/2 in molstic-S 에 설치 |
| 배압조절기,1/10.16 cm. |
상향흐름 압력의 조절을 위해 1/10.16 cm molstic-S 에 설치 |
| 조절기,1/2인치 |
하향흐름 DUT를 위해 1/2 in molstic-S 에 설치 |
| 조절기, 1/4인치 |
하향흐름 DUT를 위해 1/10.16 cm molstic-S 에 설치 |
| 데이터시트 |
|---|
molstic-S ™ Mounting System for molbloc-S ® Data Sheet (1.84 MB) |
| 설명 시트 |
|---|
|
Installation of 1/2 in. Filter Kit Instruction Sheet (106.77 KB) |