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GFS는 진정한 일차 질량 유량 표준을 제공하며, 유량 제어 시스템의 저 가스 질량 유량의 근본 측정을 실용적으로 가능하게 합니다. GFS 일차 질량 유량 측정은 가스 유량 제어기와 다른 가스 유량 제어 장치 교정 등에 사용되는 molbloc-L과 molbloc-S같은 정밀 전달 표준의 독립 metrology 지원을 위한 아주 낮은 불확도 수치를 지원합니다.
- 다양한 가스로 0.2~200mg/S의 범위를 지원 (10 sccm ~ 10slm N2)
- 지원 가스: 비부식성, 비독성 가스
- 측정값의 ±0.013%에 이르는 낮은 유량 측정 불확도
- 최대 배출 압력: 650 kPa 절대압
- 질량과 시간 측정을 이용한 일차 중력분석 원리
- 자동 무인 운전 가능
GFS 동적 중량측정 질량유량 교정시스템은 유량제어 시스템 내에서 소모된 가스질량과
그 실행경과시간에 대한 정확한 실시간 측정에 요구되는 전자식 질량편형, 수납함, 그리고 전자기기로 구성됩니다. 열 안정도를 향상시키고 진동을 줄이기 위해 저울을 대형 화강암판 위에 놓고 외풍 인클로저로 둘러쌉니다. 테스트 가스는 저울 위에 올려진 가압 실린더로 공급하며 테스트 동안 그것의 질량을 실시간으로 측정하여 소모되는 가스의 양과 소모 속도를 연속적으로 측정합니다. 이러한 현상이 벌어지고 있는 동안 그 기간은 시스템 제어기에 연결된 고속 USB- 카운터/타이머로 측정합니다. 기준 실린더를 비우고 원하는 매체로 가압하여 시스템에 다양한 비부식성 가스들을 사용할 수 있습니다.
전용 PC 기반 소프트웨어 (GFSToolsTM)가 개발되어 장비와 사용자 인터페이스의 중앙 통제소로 기능합니다. 저울과 테스트 대상 장치 출력의 개별 및 평균 값을 기록하고 결과를 계산하여 총 질량과 질량 유량으로 표시합니다. 대기압, 온도, 습도, 저울 드리프트에 대한 측정값 보정은 모두 GFSTools에서 이루어집니다. 자동 테스트 설정, 데이터 보고 및 유량 제어 또한 프로그램에 의해 다루어집니다.
GFS 일반 사양 |
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| 전원요구사항 | ||
| 저울 | 100 ~ 240 VAC, 50 ~ 60 Hz, 최대 소모27 W | |
| LCM | 100 ~ 240 VAC, 50 ~ 60 Hz, 최대 소모40 W | |
| MFC-CB | 85 ~ 264 VAC, 50 ~ 60 Hz, 최대 소모36 W | |
| 운전 온도 범위 | 15~25 °C | |
| 습도 범위 | 5% ~ 70% RH, 비응축 | |
| 중량 | ||
| 화강암 테이블과 스탠드 | 약 320 kg (700-lb) | |
| 나머지 시스템 | 약 70 kg (150-lb) | |
| 크기 | ||
| 화강암 테이블과 스텐드 인클로저 | 높이 150 cm x 90 cm 너비 x 60 cm 깊이 (58 in. x 36 in. x 24 in.) | |
| LCM | 높이 8 cm x 22.5 cm 너비 x 20 cm 깊이 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| MFC-CB | 높이 8 cm x 22.5 cm 너비 x 20 cm 깊이 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
| GFS-FS | 높이 20 cm x 41.4 cm 너비 x 20 cm 깊이 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.) | |
| 지원되는 가스 | 질소 (N2), 대기, 아르곤 (Ar), 일산화탄소 (CO), 헬륨 (He), 산소 (O2), 이산화탄소 (CO2), 사불화탄소 (CF4), 에탄 (C2H6), 에틸렌 (C2H4), 플루오르포름 (CHF3), 헥사플루오르에탄 (C2F6), 수소 (H2), 메탄 (CH4), 산화질소 (N2O), 육불화탄소 (SF6), 제논 (Xe) | |
| 유량 측정 범위 | 최소: | |
| 헬륨, 수소 | 100 sccm ~ 10 slm | |
| 모든 다른 가스류 | 10 sccm ~ 10 slm | |
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압력 연결 인클로저에서 배출 유량 경로 |
1/8” Swagelok 튜브 피팅 혹은 동등, 1/4” Swagelok 혹은 동등 제품을 위한 어댑터 | |
| 기준 가스 실린더 압력 한계 | 20 MPa (3000 psi) | |
| CE 적합성 | 가능, 규정해야 함 | |
| 제품 매뉴얼 |
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GFS2102™ Operation and Maintenance Manual (5.46 MB) |
| 어플리케이션 노트 |
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Typical Measurement Uncertainty in Gas Flow Measured by GFS2102 Gravimetric Flow Standard (76.28 KB) |
| 소프트웨어 |
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| GFSTools PC Based Software |
| 설명 시트 |
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Installation of Regulator Assembly onto GFS2102 Reference Gas Cylinder Instruction Sheet (106.51 KB) |
| 논문/문서 |
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A Primary Calibration System for the Support of High Performance Gas Flow Transfer Standards (91.76 KB) |